微區電化學掃描顯微鏡是利用振動電極和鎖相放大器消除微區掃描中的噪聲干擾,提高測量精度. SVET系統具有高靈敏度,非破壞性,可進行電化學活性測量的特點.它可進行線性或面掃描,研究局部腐蝕(如電蝕和應力腐蝕的產生,發展等),表面涂層及緩蝕劑的評價等方面的研究,掃描振動探針(SVET)是在液態腐蝕環境下,進行腐蝕研究的有力工具,它能檢測小于5uA/cm2的原位腐蝕。
微區電化學掃描顯微鏡為表面科學測量提供了一個新的途徑，開爾文探針是一種無接觸，無破壞性的儀器，可以用于測量導電的、半導電的，或涂覆的材料與試樣探針之間的功函差。 這種技術是用一個振動電容探針來工作的，通過調節一個外加的前級電壓可以測量出樣品表面和掃描探針的參比針尖之間的功函差。 功函和表面狀況有直接關系的理論的完善使SKP成為一種很有價值的儀器，它能在潮濕甚至氣態環境中進行測量的能力使原先不可能的研究變為現實。
微區電化學掃描顯微鏡的應用：
不銹鋼和鋁等材料的點蝕檢測、成長過程在線監測等；
有機和金屬涂層缺陷和完整性研究；
金屬/有機涂層界面的腐蝕的機制與檢測；
有機涂層的剝離和脫落機制；
鈍化處理的不銹鋼焊接熱影響區的電位分布；
干濕循環的碳鋼和不銹鋼的陰極區和陽極區的分布行為；
薄液層下氧還原反應和金屬的腐蝕過程的特征；
模擬不同大氣環境的腐蝕電位在線監測；
鋁合金等材料在大氣環境中局部腐蝕敏感性。
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